Сканерлеуші электронды микроскоптың жұмыс принциптері мен техникалық дамуы

Сканекрлеуші электронды микроскоптарда үлкейтілген сурет алу әдістерінің оптикалық және сәуле өткізгіш электронды микроскопиядан біраз айырмашылығы бар. 2-ші суретте көрсетілгендей беттің жіңішке электронды шоғырмен электрондардың эмиссиясы болады.

Сәуле шығаратын бетті жіңішке, бірақ қарқындылығы жеткілікті электрондар шоғырымен сканерлеп және екіншілік электрондардың сигналын детектордан осциллографқа бере отырып, экранда беттің үлкейтілген суретін алуға болады. Бұл кезде міндетті түрде беттің сканерлеу жылдамдығы мен осциллограф экранның скенерлеу жылдамдығы үйлескен болуы керек . Сәулеленген электрондар шоғыры электронды пушкадан пайда болып, бағыттаушы линза-объективке өтеді, және үлгінің бетінде өлшемін бағыттаушы жүйе арқылы реттеуге болатын, кішкене сәулеленген дақты шығарады.

Осыдан, саны беттің сипаттамаларына (атомдық құрлымы, кедір-бұдырлығы, электрлік патенциал және т. б) тәуелді екіншілік және шағылысқан электрондар пайда болады. Осындай электрондардың интенсивтілігін өлшеп және анализдеп біз мониторда беттің нақты бөлігінің бейнесін ала аламыз және оны фотографиялық суретке айналдыра аламыз. Сәуле өткізгіш электронды микроскоптар сияқты, СЭМ қондырғыларының ішінде де міндетті түрде жоғарғы вакуумды мүмкіншілігін көміртек нанотрубаларының микрофотографиясынан көруге болады.

Кейінірек, сканерлеуші электронды микроскоптың техникасының дамуы ұзақ уақыт сәуле түсірудің дамуынан артта қалып қойды. Бірақта, соңғы уақытта сканерлеуші электронды микроскоптар техникасы қарқынды түрде дамыды, нәтижесінде көптеген сканерлеуші электронды микроскоптардың арнайы түрлері пайда бола бастады. Ал олардың көрсете алатын мүмкіндігі 0, 5нм-ге жетті